PiPi小型等离子装置
高频输出 200W,反应腔 W130×D130mm
经济型、研究开发用小型等离子清洗机。
特点
● 经济型等离子清洗机
● 简单的等离子处理操作
● 等离子模式为RIE模式
用途
● 去除有机物
● 树脂/膜等表面改质
● 改善粘接效果
● 提高亲水性
● 去除金属氧化物
● 蚀刻
等离子
等离子为气体发生电离状态,形成带有正电的离子及带有负电的电子状态。等离子为带有高能量、反应性非常高的状态,其容易与物质表面进行反应的特性被广泛使用。
等离子RIE(Reactive Ion Etching 方式)
RIE是去除物体表面的有机物污垢,同时去除无机物的清洗方式。
RIE方式为加速离子层中的阳离子,冲击污染表面的物理性清洗方式。
规格
型号 |
PM100 |
等离子方式 |
RIE模式 |
电极构造 |
平行平板式 |
高频输出 |
Max200W |
频率 |
13.56MHz |
电极尺寸 |
W130×D130mm |
外形尺寸 |
W438×D520×H565mm |
反应气体 |
Ar |
填充气体 |
N2或干燥空气 |
反应气体流量计 |
流量计 |
控制方式 |
程序控制 |
电源 |
单相100V |
真空泵(选配) |
油泵 135L/min(50Hz) |
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