PiPi小型等离子装置
高频输出 200W,反应腔 W130×D130mm
经济型、研究开发用小型等离子清洗机。
特点
● 经济型等离子清洗机
● 简单的等离子处理操作
● 等离子模式为RIE模式
用途
● 去除有机物
● 树脂/膜等表面改质
● 改善粘接效果
● 提高亲水性
● 去除金属氧化物
● 蚀刻
等离子
等离子为气体发生电离状态，形成带有正电的离子及带有负电的电子状态。等离子为带有高能量、反应性非常高的状态，其容易与物质表面进行反应的特性被广泛使用。
等离子RIE（Reactive Ion Etching 方式）
RIE是去除物体表面的有机物污垢，同时去除无机物的清洗方式。
RIE方式为加速离子层中的阳离子，冲击污染表面的物理性清洗方式。
规格
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型号 |
PM100 |
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等离子方式 |
RIE模式 |
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电极构造 |
平行平板式 |
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高频输出 |
Max200W |
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频率 |
13.56MHz |
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电极尺寸 |
W130×D130mm |
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外形尺寸 |
W438×D520×H565mm |
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反应气体 |
Ar |
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填充气体 |
N2或干燥空气 |
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反应气体流量计 |
流量计 |
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控制方式 |
程序控制 |
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电源 |
单相100V |
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真空泵（选配） |
油泵 135L/min（50Hz） |
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