PiPi小型等离子装置
高频输出 200W,反应腔 W130×D130mm
经济型、最适合于研究开发用小型等离子清洗机。
特点
● 经济型等离子清洗机
● 简单的等离子处理操作
● 等离子模式为RIE模式
用途
● 去除有机物
● 树脂/膜等表面改质
● 改善粘接效果
● 提高亲水性
● 去除金属氧化物
● 蚀刻
等离子
等离子为气体发生电离状态，形成带有正电的离子及带有负电的电子状态。等离子为带有高能量、反应性非常高的状态，其容易与物质表面进行反应的特性被广泛使用。
等离子RIE（Reactive Ion Etching 方式）
RIE是去除物体表面的有机物污垢，同时去除无机物的最合适的清洗方式。
RIE方式为加速离子层中的阳离子，冲击污染表面的物理性清洗方式。
规格
|
型号 |
PM100 |
|
等离子方式 |
RIE模式 |
|
电极构造 |
平行平板式 |
|
高频输出 |
Max200W |
|
频率 |
13.56MHz |
|
电极尺寸 |
W130×D130mm |
|
外形尺寸 |
W438×D520×H565mm |
|
反应气体 |
Ar |
|
填充气体 |
N2或干燥空气 |
|
反应气体流量计 |
流量计 |
|
控制方式 |
程序控制 |
|
电源 |
单相100V |
|
真空泵（选配） |
油泵 135L/min（50Hz） |
上一条：PDC610等离子清洗机
下一条：PM100等离子清洗机
销售：028-86149818 18908200676
地址：成都市青羊区光华东三路489号3栋1203
© Rfbio.cn All Rights Reserved.
蜀ICP备14022949号
网站建设：澎湃动力
