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PDC200/210/510等离子清洗机
来源:四川蓉飞生物技术有限公司 发布时间:2015-01-05

PDC200/210/510等离子清洗机


高频输出 300WPDC200型)/500WPDC210/510型),电极尺寸 250×170mmPDC200/210型)/410×170mmPDC510型) 

适用于研究开发的小型等离子清洗机。 

使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应多种用途。 

用途 

CSPBGACOB基板的等离子清洗

●去除有机膜和金属氧化膜

●印刷电路基板的干式清洗

●界面活性处理

LED封装 

特征

DP模式(PDC510标配·PDC200/210选配)

RIE模式

●均匀性高的电极构造

●操作简单的触摸屏控制器 

规格 

型号

PDC200

PDC210

PDC510

等离子模式

RIEDP模式选配)

RIE/DP

电极构造

平行平板(固定)

高频输出

Max300W

Max500W

频率

13.56MHz

控制·显示

液晶触摸屏

反应室尺寸

W400×D250×H150mm

W500×D300×H200mm

电极尺寸

W250×D170mm

W400×D200mm

反应室材质

反应气体

2系统(ArO2

填充气体

N2或干燥空气

反应气体流量控制

流量计

聚合控制器

真空泵

另行选配

油泵(约345L/分)标配

油泵(约500L/分)标配

气体导入口

反应气体2个、填充气体1

外形尺寸

W540×D600×H600mm

W540×D600×H600mm

W700×D700×H1285mm

重量

100kg

105kg

180kg

电源

单相 AC100V 10A

三相AC200V 6A

三相AC200V 8A



四川蓉飞生物技术有限公司

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